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全自动偏光应力仪测量原理

更新时间:2023-05-15    点击次数:432
全自动偏光应力仪是全自动检测具有应力与双折射的透明物体内部的光程差和慢轴方向的2次元定量测量装置。目前,应力和双折射的定量测量主要以肉眼观测的塞纳蒙法仪器为主。
全自动偏光应力仪测量原理:
测量方法采用固定圆偏光板,旋转检偏镜的方法。
光线经过直线偏光+1/4波长板变成圆偏振光,放置有应力的样品,双折射的慢轴快轴间产生光程差,变成椭圆偏振光。然后旋转检偏镜,椭圆偏振光内,偏振光透射轴和平行光以直线偏振光方式通过。此时可以看到通过检偏镜的光强度依据光程差和慢轴方向随着检偏镜角度变化有所变化。全自动应力仪测量一次预定的四个角度有相机拍照,从各个角度的光强度得出偏振光状态(精圆率和椭圆斜度)。然后,检测是否放置样品,从各个偏光状态的不同,算出光程差的大小和慢轴方向。
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