如何操作真空衰减法密封仪，需注意什么

　　真空衰减法密封仪也叫真空指数法密封仪，是一种用于测量微处理器封装物中气体的渗透率的测试仪。它通过改变空气压力，测量气体在管内、容器内、空腔内扩散性能，从而评估封装物的密封性。有一定容量的真空腔，在这个真空腔内，存储了大量的压缩空气，然后使用活塞筒或杠杆来拉动真空阀，改变真空腔压力，该真空腔内的气体从压力大的地方向压力小的地方移动，这样就形成了一个真空衰减的过程。通常情况下，当真空腔内的气体温度保持恒定，同时真空腔的压力也保持恒定，也就可以正确的测量出气体渗透率。

　　如何操作？

　　1.使用之前，首先要确保电源通断，以及真空腔内的油气已经排尽，并将真空腔放置水平，以减少气体渗透的影响。

　　2.接着，依次打开电源和真空阀，使真空腔内压力降低，直到达到预设的值，然后关闭真空阀。

　　3.将样品放置在真空腔内，等待规定的时间，通常是十几分钟，以确保样品有足够的时间在真空环境中接受测试。

　　4.测试完成后，打开真空阀，快速让真空腔内的压力回复到正常，然后关闭电源和真空阀。

　　应该注意哪些？

　　1、外壳应全部打开，将被测件的相关参数设置好，如排气孔、进气孔大小、进气压力等。

　　2、在给仪器供电前，应先检查仪表各参数，并且确保电源电压稳定。

　　3、将仪器的真空泵连接上，打开真空泵，将真空腔内的空气抽空。

　　4、在真空腔内调整压力到预设值，使压力保持稳定，然后将带有被测物的密封件安装入真空腔内，并紧固它们。

　　5、操作者要用手动调节阀来控制真空衰减仪，按照相关参数进行设置，以控制真空衰减仪的阀门气流量，然后让它衰减到所需的压力值。

　　6、当被测物达到设定压力时，真空衰减仪应停止衰减，通过测试被测物是否满足所需的密封标准来检查密封情况，如果不满足要求则应重新调整真空衰减仪，直到满足要求为止。

　　7、完成测试后，请及时关闭真空衰减仪的电源，并且及时将密封件及相关连接管路拆开，避免影响下一次测试。