微米级薄膜测厚仪

光学法中的激光干涉法和椭圆偏振光法在微米级薄膜测量中占据着重要地位。激光干涉法，利用了光的干涉现象，就像平静湖面投入两颗石子产生的涟漪相互交织 。当一束激光照射到薄膜上，在薄膜的上下表面会分别反射，这两束反射光会相互干涉形成明暗相间的条纹。通过精确测量这些干涉条纹的间距和数量，再依据光的波长等参数，就能够计算出薄膜的厚度。其精度高，甚至可达纳米级，对于极薄的薄膜也能精准测量，并且是非接触式测量，不会对薄膜造成物理损伤。然而，它对薄膜表面的平整度要求近乎苛刻，稍有不平整就可能影响测量结果；同时，环境中的振动和温度变化也如同干扰信号，会使测量产生误差。

椭圆偏振光法同样精妙，当一束偏振光以特定角度入射到薄膜表面时，光与薄膜相互作用，其偏振状态会发生改变。通过精密测量这种偏振状态的变化参数，如椭偏参数 Ψ 和 Δ ，再借助专业的光学模型和复杂的数据分析，就可以推算出薄膜的厚度和光学常数。它具有较宽的测量范围，从纳米级到微米级的薄膜都能测量，精度也较高，适用于多种类型的薄膜。但它的测量过程较为复杂，需要专业的知识和技能来操作仪器和分析数据，而且对测量环境的稳定性也有一定要求。